在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，沉積工藝是構(gòu)建芯片結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，而半導(dǎo)體沉積工藝溫控裝置 chiller對(duì)工藝的正常運(yùn)行起著作用。正確使用 chiller，有助于提升半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

在沉積工藝啟動(dòng)前，依據(jù)半導(dǎo)體材料特性與沉積工藝要求，仔細(xì)設(shè)置chiller的溫度參數(shù)。不同的沉積薄膜，其生長(zhǎng)所需的適宜溫度不一樣，溫度出現(xiàn)偏差，就可能致使薄膜厚度不均，甚至造成晶格結(jié)構(gòu)紊亂。通常，對(duì)于常見(jiàn)的化學(xué)氣相沉積工藝，溫度需控制，盡量將偏差控制在較小范圍內(nèi)，防止因疏忽引發(fā)產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。

Chiller所采用的冷卻介質(zhì)，如水、乙二醇混合液等，得與半導(dǎo)體制造環(huán)境及工藝需求相匹配。水是較優(yōu)選擇，但在部分低溫或?qū)Ψ栏g要求高的場(chǎng)景下，需調(diào)配乙二醇溶液。調(diào)配時(shí)，要把控乙二醇的濃度，濃度過(guò)高，介質(zhì)黏度過(guò)大，會(huì)影響冷卻液循環(huán)效率，讓泵機(jī)負(fù)荷加重；濃度過(guò)低，又無(wú)法滿足低溫防凍需求。同時(shí)，要定期檢測(cè)冷卻介質(zhì)的電導(dǎo)率、酸堿度等指標(biāo)，電導(dǎo)率超標(biāo)意味著介質(zhì)里雜質(zhì)變多，可能在管道、熱交換器表面形成沉積物，降低熱傳遞效果，建議每月至少檢測(cè)一次，保證介質(zhì)的純凈度。

在沉積工藝進(jìn)行期間，實(shí)時(shí)留意設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。通過(guò)控制面板觀察溫度實(shí)時(shí)波動(dòng)、壓力變化以及泵機(jī)轉(zhuǎn)速等參數(shù)。溫度波動(dòng)過(guò)大，或許是制冷系統(tǒng)故障、熱負(fù)荷突變或溫控傳感器損壞造成的，一旦察覺(jué)溫度超出合理波動(dòng)范圍，應(yīng)馬上暫停沉積工藝，排查故障根源。壓力異常升高可能是管路堵塞、冷凝器散熱不佳，壓力過(guò)低說(shuō)不定是冷卻液泄漏，任何細(xì)微的壓力異常都得及時(shí)處理。此外，泵機(jī)作為冷卻液循環(huán)的動(dòng)力源，要是出現(xiàn)異常振動(dòng)、運(yùn)行聲音變大的情況，大概率是軸承磨損、葉輪失衡，迅速停機(jī)檢修，避免冷卻液循環(huán)中斷，給沉積過(guò)程帶來(lái)影響。

維定期保養(yǎng)可以維持良好性能。日常清潔，擦拭設(shè)備外殼，預(yù)防灰塵進(jìn)入電氣控制柜引發(fā)短路風(fēng)險(xiǎn)；定期更換過(guò)濾器濾芯，依據(jù)工況定期檢查，確保冷卻液純凈流通。

新安裝或工藝調(diào)整后，半導(dǎo)體沉積工藝溫控裝置 chiller需要與沉積設(shè)備聯(lián)合調(diào)試。監(jiān)測(cè)沉積過(guò)程中晶圓表面溫度分布，結(jié)合沉積薄膜質(zhì)量反饋，微調(diào) chiller 控制參數(shù)，讓二者匹配良好，保障從初始沉積到薄膜均勻生長(zhǎng)的各個(gè)階段。