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簡(jiǎn)要描述：元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)
產(chǎn)品型號(hào)：AES-4535廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時(shí)間：2025-01-13訪 問(wèn) 量：3229| 品牌 | LNEYA/無(wú)錫冠亞 | 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
| 儀器種類 | 一體式 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子/電池,航空航天,制藥/生物制藥,汽車及零部件 |
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)
光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)
光刻機(jī)制冷機(jī)組這是可以提供恒定溫度，電流和壓力的冷卻水設(shè)備使用時(shí)，應(yīng)注意以下事項(xiàng)。
1.在安裝過(guò)程中，請(qǐng)檢查機(jī)器是否損壞，并選擇合適的位置進(jìn)行安裝和以后的維護(hù)。
2.設(shè)備的安裝地點(diǎn)須是地板，安裝墊或地基，且水平度應(yīng)在范圍之內(nèi)，并且能夠承受設(shè)備的工作重量。
3.單元應(yīng)放置在室溫下，單元周圍和上方應(yīng)有足夠的空間進(jìn)行日常維護(hù)。
4.在單元的一端，應(yīng)保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間，也可以使用門的開(kāi)口或其他位置合適的孔。
5.當(dāng)設(shè)備以較大功率運(yùn)行時(shí)，選擇具有適當(dāng)管徑的水管，冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng)，并正確連接它們。
6.對(duì)于普通應(yīng)用，通過(guò)蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應(yīng)在范圍之間。
7.在負(fù)載下，水流均應(yīng)保持穩(wěn)定。
8.所有冷凍水和冷卻水管應(yīng)按照常規(guī)方法進(jìn)行設(shè)計(jì)和安裝。冷凍水泵應(yīng)位于設(shè)備的進(jìn)水管上，以確保設(shè)備中的正壓和流量。配管時(shí)，應(yīng)設(shè)置減震管，以確保適當(dāng)?shù)膹椥裕⒃谒猛Ｖ箷r(shí)防止蒸發(fā)器的水排出。
9.應(yīng)獨(dú)立于組光刻機(jī)制冷機(jī)組牢固地支撐管道，以避免對(duì)組光刻機(jī)制冷機(jī)組的組件施加壓力。吊架的位置應(yīng)便于管道對(duì)齊。
10.為了減少噪音和振動(dòng)，較好在管道上安裝振動(dòng)隔離器。
11.為了經(jīng)濟(jì)有效地使用第光刻機(jī)制冷機(jī)組組，建議請(qǐng)水處理專家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì)。水質(zhì)差會(huì)導(dǎo)致結(jié)垢，影響傳熱，產(chǎn)生腐蝕沉淀，滋生有機(jī)物，影響裝置的性能并增加運(yùn)行和維護(hù)成本。
12.一般來(lái)說(shuō)，正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能。如果不能通過(guò)適當(dāng)?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質(zhì)狀況，則須使管束具有較大的結(jié)垢系數(shù)或使用特殊的結(jié)構(gòu)材料。
在操作光刻機(jī)制冷機(jī)組時(shí)，請(qǐng)注意上述事項(xiàng)，這一定會(huì)使您受益。
